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描述:PT124G-3500-55/55D系列高精度單晶硅差壓傳感器采用進(jìn)口先進(jìn)MEMS技術(shù)制成的單晶硅傳感器芯片,內(nèi)嵌高品質(zhì)測(cè)壓膜盒和信號(hào)處理模塊,是基于被測(cè)壓力直接作用于傳感器正負(fù)壓腔的膜片上,使膜片產(chǎn)生與壓力成正比例關(guān)系的微位移,并將該壓力差傳遞至單晶硅芯片兩端,通過(guò)集成電路監(jiān)測(cè)該位移變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)相應(yīng)壓力差的的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。
標(biāo)題:高精度單晶硅差壓傳感器
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